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“图形转移”是指把掩膜层所确定的图形通过能产生表面转移的化学或物理方法转移到薄膜上或衬底上去。
释义
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"Pattern transfer" refers to the transfer of a pattern, defined by a masking layer, into a film or substrate by chemical or physical methods that produce surface relief.
近反义词
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