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This paper has opened the control system of the single crystal growth.Main components of the system are the DC motor,ball screw,embedded MCU(Micro Controller Unit),AC servomotor and so on.
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释义
本文研制开发了一种大直径单晶体生长控制系统,主要部件采用稀土永磁直流力矩测速机组,滚珠丝杠,嵌入式单片机、交流伺服电机等。
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