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R.C.Chang, C.T.Chaung and P.H.Yang, 2005, Dynamic property analysis of photo resist thin films by using nanoindentation, The 22nd National Conference on Mechanical Engineering, Chung-Li, Taiwan.
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释义
陈芃宇,张瑞庆,萧俊卿,2005,不同薄膜于奈米压痕及奈米刮痕实验之特性,精密检测及奈米技术研讨会,台北,台湾。
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