The present work reports experimental determinations of atomic hydrogen in microwave discharge hydrogen plasmas formed from TM01 MW mode in an ASTeX-type reactor via optical emission spectroscopy by using Ar as an actinometer.

• 因此，对氢原子浓度的原位诊断是研究和改进上述等离子体工艺过程的重点也是难点之一。 本文在分析了多种等离子体诊断方法后，采用了装置简单、对等离子体没有扰动的发射光谱技术，通过Actinometry方法(以Ar做内标气体)，对ASTeX型微波放电氢等离子体中的氢原子浓度进行了原位测定。