The micro function module, such as micro channel, micro chamber, micro pump, micro heater and sensor etc, are manufactured by the technology of Micro Electro Mechanical System (MEMS) on the substrate of glass or silicon.

• 聚合酶链式反应(PCR)微芯片是运用微电子机械系统(MEMS)技术在硅片或玻璃片等基片材料上加工一系列的微管道、微反应室及微阀、微加热器、微传感器等功能单元，利用芯片集成度高和比表面积大的特性，在芯片上实现快速PCR扩增。