The experiment results show that stitching precision will achieve 1 pixel when standard deviation of comparison area of image exceed 7.1,and the error of 3D profile stitching is under 20 nm.

• 中文摘要本研究主要的目的在建立大水平量测范围之白光干涉技术，以利大面积微结构表面形貌量测，特别针对微机电元件的表面形貌作非破坏性且高解析度的量测。