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Micromachining technology, MEMS devices and their applications are surveyed in Chapter 1. The development of micromachined accelerometer is also summarized.
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美
释义
论文的第一章对微电子机械系统及其器件设计、制造技术和应用等发展状况进行了综述,重点综述了微机械加速度传感器的研究进展。
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