Korzec D,Rapp J,Theirich D,Engemann J.Cleaning of metal parts in oxygen radio frequency plasma:Process study[J].J.Vac.Sci.Technol.A 12(2),Mar/Apr 1994.

• 赵玲利；王守国；常压冷等离子体清洗技术在微电子工业中的应用[J].；清洗世界；2005；21(4)