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In laser assisted diffusion, to realize the homogenization of the temperature distribution in the small exposed region, the laser beam is transformed through Binary Optics Elements (BOE).
英
美
释义
在激光诱导扩散中,需要利用二元光学元件对激光器输出的高斯光束进行整形,以实现曝光区的温度分布均匀化。
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