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HfO_2 films were prepared by electron beam(EB) evaporation,ion assisted deposition(IAD) and dual ion beam sputtering(DIBS);
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释义
HfO2薄膜利用电子束蒸发(EB)、离子束辅助(IAD)和双束离子束溅射(DIBS)三种方法沉积。
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