Fluorinated amorphous-silicon (a-Si:F) containing no bydrogen is prepared from SiF_4or the mixture ot SiF_1+Ar by radio-frequency glow discharge technique.

• 含氟的无氢无定形硅(a-Si:F)是在SiF_4或 SiF_4+Ar 混合气体中用高频辉光放电法制备。