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By photosensitive PLZT gel combined with UV laser double beam interference, high density gratings, 2-D dot arrays or 2-D lattices of PLZT films.
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释义
锆钛酸铅镧(PLZT)薄膜具有良好的介电、铁电和热释电等性能,在微电子、光电子等领域有着十分重要的应用。
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