Abstract Ti ions extracted from MEVVA have been implanted into H13 Steel. RBS of samples hasbeen measured with 2.1 MeV He ion beams.

• 利用从国内首台金属蒸汽真空弧离子源（MEVVA）引出的脉冲钛离子对H13钢进行了离子注入改性研究，测量了注入样品背散射谱（RBS），根据RBS，给出了H13钢表面的Ti浓度分布。